2XZ系列旋片式真空泵使用时的注意事项

1.2XZ系列旋片式真空泵的工作压强应该满足真空设备的真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2.正确地选择真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围。如：扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,抽泡旋片式真空泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。